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原子力显微镜2016-10-09 15:54:52
 
主要技术指标:
      分辨率:横向分辨率0.1nm,纵向分辨率0.01nm。
      探针与样品表面相互作用力为10-8N以下
 主要功能:
1、表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。
2、具有三维图象显示、断面的形状与粗糙度解析,形貌解析等多种功能。