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场发射扫描电镜(SEM)、能谱仪2014-12-11 10:17:46
主要性能指标:
1.放大倍数:最高达30万倍
2.电压:0~30KV
3.压力:最大压力130Pa
4.扫描时间:50ns~20ns
5.探头:二次电子探头、背散射电子探头、低真空探头、环扫探头。

主要功能:
1.FEI (环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。  
2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。